La fabrication des microsystèmes.
Le façonnage du silicium se fait en salle blanche. Une salle blanche est une pièce ou une série de pièces où la concentration particulaire est maîtrisée afin de minimiser l'introduction, la génération, la rétention de particules à l'intérieur. Les paramètres tels que la température, l'humidité et la pression relative sont également maintenus à un niveau précis (Définition selon la norme ISO 14644-1). Les salles blanches sont utilisées dans les domaines sensibles aux contaminations environnementales : les procédés de fabrication des dispositifs à semi-conducteurs, les biotechnologies et d'autres domaines de la biologie, la construction d'engins spatiaux, la construction d'optique ou de micro mécanismes, dans les hôpitaux pour les blocs opératoires ou de bactériologie. L'air entrant dans la salle blanche peut être filtré selon différents niveaux de tailles d'éléments indésirables ; de la poussière, jusqu'à des tailles de trente fois inférieures à une cellule humaine. Pour limiter le colmatage des filtres prématurément (technique et filtrage aéraulique), l'air repris en point bas dans la salle (aspiration), est filtré de nouveau dans une centrale de traitement d'air (CTA) puis renvoyé dans la salle (taux de brassage horaire), la plupart du temps par le haut. Ce flux d'air recyclé du haut vers le bas renouvelle le volume d'air total de la salle jusqu'à 60 fois par heure. Enfin, pour éviter la concentration de CO2 (un scientifique consomme aussi de l'oxygène et rejete du CO2) et compenser les ouvertures de portes de la salle blanche, environ 30 % d'air neuf sont rajoutés chaque heure (taux de renouvellement horaire), filtrés selon un procédé similaire au recyclage. Certaines zones sont 100 % en air neuf.
